Tập trung vào ngành khí đặc biệt

Khí điện tử bao gồm khí điện tử đặc biệt và khí điện tử số lượng lớn.Chúng là những vật liệu không thể thiếu và chủ yếu trong quá trình sản xuất mạch tích hợp, tấm hiển thị, đèn bán dẫn, quang điện và các ngành công nghiệp khác.Khí đặc biệt điện tử là vật liệu hỗ trợ cần thiết cho sản xuất mạch tích hợp.Chúng được sử dụng rộng rãi trong quang khắc, khắc, tạo màng, làm sạch, pha tạp, lắng đọng và các liên kết quá trình khác.Chúng có yêu cầu cao về độ tinh khiết, độ ổn định, thùng chứa đóng gói, v.v., được gọi là “thực phẩm” và “máu” của ngành bán dẫn.Sản xuất mạch tích hợp bao gồm hàng nghìn quy trình cực kỳ phức tạp và yêu cầu sử dụng hàng trăm loại khí điện tử đặc biệt.Trong sản xuất mạch tích hợp, khí điện tử có thể được chia thành khí doping, khí cấy ion, khí làm sạch, khí ăn mòn và khí quang khắc theo các quy trình khác nhau;khí điện tử được sử dụng rộng rãi và có yêu cầu kỹ thuật cao.Các nguồn và hệ thống cung cấp của họ có những yêu cầu khắt khe.Độ tinh khiết của khí là thông số cốt lõi của các sản phẩm khí đặc biệt, đòi hỏi phải siêu tinh khiết và siêu sạch.Ultrapure yêu cầu độ tinh khiết của khí đạt 4,5N, 5N hoặc thậm chí 6N hoặc 7N.Mỗi khi độ tinh khiết tăng thêm một N và mỗi khi nồng độ của các hạt và tạp chất kim loại giảm một bậc độ lớn thì độ tinh khiết của khí sẽ tăng một bậc độ lớn.Mang lại những cải tiến đáng kể về độ phức tạp và độ khó của quy trình.Đối với khí hỗn hợp, độ chính xác của tỷ lệ là thông số cốt lõi.Khi các thành phần sản phẩm tăng lên và độ chính xác của quá trình chuẩn bị tăng lên, các nhà cung cấp khí thường được yêu cầu thực hiện các hoạt động chính xác trên các thành phần khí có nồng độ ở mức ppm hoặc thậm chí ppb khác nhau.